精密掃描臺|新品推薦-哈爾濱芯明天科技有限公司

產地	國產	加工定制	是

芯明天放大機構式壓電掃描臺 N12壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內部采用無摩擦的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu) 化結構，具有超高的導向精度、高剛性、大負載、無磨損等特點，平臺內可選擇配置高性能傳感器進行全閉環(huán)反饋，實現(xiàn)滿行程0.04%的重復定位精度。

芯明天放大機構式壓電掃描臺N12壓電掃描臺特性

• 大位移110μm

• 大承載0.7kg

• 臺體中心方形通孔

• 閉環(huán)重復定位精度高 • 開環(huán)閉環(huán)可選

1~3維掃描臺

N12系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規(guī)格型號。

閉環(huán)傳感定位精度高

N12系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器，對位置實時檢測并反饋到壓電控制器，控制器通過PID算法調整電壓修正位移，從而實現(xiàn)高精度定位。

N12.XYZ壓電掃描臺配套芯明天E72系列模塊化控制器應用于光學顯微成像，實現(xiàn)XYZ軸精密掃描。

小體積、大位移、中心通孔

N12系列納米定位臺體積非常小巧，位移可達110μm。 *的平行運動學設計原理，使得平臺可以實現(xiàn)XYZ軸高速精密運動。這款產品的應用非常廣泛，從光學研究到工業(yè)化 OEM系統(tǒng)等。

該系列壓電掃描臺的通光孔為45×45mm。高剛度以及優(yōu)異的直線性使其成為光學、激光領域納米級精密定位應用。

N12壓電掃描臺典型應用

掃描顯微

• 共焦顯微

• 晶圓定位

• 表面測量

• 圖像處理與穩(wěn)定

• 半導體測試

N12壓電掃描臺技術參數(shù)：

型號	尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)	N12.X100S N12.X100K	N12.Z100S N12.Z100K	N12.XY100S N12.XY100K	N12.XZ100S N12.XZ100K	N12.XYZ100S N12.XYZ100K	單位
運動自由度		X	Z	X、Y	X、Z	X、Y、Z
標稱行程范圍（0~120V）		80	80	80/軸	80/軸	80/軸	μm±20%
大行程范圍（-20~150V）		110	110	110/軸	110/軸	110/軸	μm±20%
傳感器類型		SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
通孔尺寸		45×45	45×45	45×45	45×45	45×45	mm
閉/開環(huán)分辨率		7/4	7/4	7/4	7/4	7/4	nm
閉環(huán)線性度		0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.15/-	%F.S.
閉環(huán)重復定位精度		0.04/-	0.04/-	0.05/-	0.05/-	0.1/-	%F.S.
俯仰/偏航/滾動		<10	<10	<15	<15	<20	µrad
推/拉力		30/10	30/10	25/8	25/8	20/4	N
運動方向剛度		0.3	0.3	X0.25/Y0.3	X0.3/Z0.25	X0.3/Y0.25/Z0.2	N/μm±20%
空載諧振頻率		230	200	X170/Y200	X200/Z150	X200/Y150/Z120	Hz±20%
閉/開環(huán)空載階躍時間		10/0.8	10/0.8	15/0.8	15/0.8	30/0.8	ms±20%
閉環(huán)空載工作頻率	10%行程	60	65	55	50	30	Hz±20%
閉環(huán)空載工作頻率	行程	8	8	7	6	4	Hz±20%
大承載		0.7	0.7	0.7	0.7	0.5	kg
靜電容量		1.8	1.8	1.8/軸	1.8/軸	1.8/軸	μF±20%
材質		鋼、鋁	鋼、鋁	鋼、鋁	鋼、鋁	鋼、鋁
重量		240	240	290	290	350	g±5%